电子束光刻与纳米光刻技术_10_中科院(陈宝钦)

admin · 发表于 2016-2-9 16:15:59

电子束光刻与纳米光刻技术_10_中科院(陈宝钦)

电子束光刻技术是推动微米电子学和微纳米加工发展的关键技术,尤其在纳米制造领域中起着不可替代的作用。重点阐述了如何利用电子束直写技术实现纳米器件和纳米结构的电子束光刻。针对电子束光刻效率低和电子束光刻邻近效应等问题所采取的措施;采用无宽度线曝光技术和高分辨率、高反差、低灵敏度电子抗蚀剂相结合实现电子束纳米尺度光刻以及采用电子束光刻与X射线曝

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admin admin 当前离线积分 59806 窥视卡雷达卡	电梯直达楼主发表于 2016-2-9 16:15:59 \| 只看该作者 \|倒序浏览 \|阅读模式电子束光刻与纳米光刻技术_10_中科院(陈宝钦) 电子束光刻技术是推动微米电子学和微纳米加工发展的关键技术,尤其在纳米制造领域中起着不可替代的作用。重点阐述了如何利用电子束直写技术实现纳米器件和纳米结构的电子束光刻。针对电子束光刻效率低和电子束光刻邻近效应等问题所采取的措施;采用无宽度线曝光技术和高分辨率、高反差、低灵敏度电子抗蚀剂相结合实现电子束纳米尺度光刻以及采用电子束光刻与X射线曝链接: http://pan.baidu.com/s/1c1qfiLU 密码: 点击此处下载已购人数：人下载方式：百度网盘售价： 30 资料币点我开通VIP 下载海量教程
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